Sla5850S1Gab1C2A1 - Bộ Điều Khiển Và Đo Lưu Lượng - Brooks Instrument Vietnam

17025 Thiết bị được chứng nhận (Bao gồm độ tuyến tính, loại trừ độ không đảm bảo đo của hệ thống hiệu chuẩn, theo SEMI E69)

±0,6% SP (20-100% FS)

±0,12% của FS (<20% FS)

1100 slpm lên đến 2500 slpm: ±0,6% FS

Thiết bị tiêu chuẩn (bao gồm độ không đảm bảo từ các tiêu chuẩn tham khảo

±0,9% SP (20-100% FS)

±0,18% của FS (2-20% FS)

1100 slpm lên đến 2500 slpm: ±1,0% của FS

0,003 - 100 slpm: <1 giây

100 - 2500 slpm: <3 giây

0,003-200 slpm: 1500 psi/103 thanh

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Thanh 4500 psi/310 tùy chọn trên thiết bị tối đa 50 slpm

Controllers

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts